Ion kinetic energy- and ion flux-dependent mechanical properties and thermal stability of (Ti,Al)N thin films

Karimi Aghda, Soheil (Corresponding author); Holzapfel, Damian Mauritius; Music, Denis; Unutulmazsoy, Yeliz; Mráz, Stanislav; Bogdanovski, Dimitri; Fidanboy, Gönenç; Hans, Marcus; Primetzhofer, Daniel; Méndez, Alba San José; Anders, André; Schneider, Jochen M.

Amsterdam [u.a.] : Elsevier Science (2023)
Fachzeitschriftenartikel

In: Acta materialia
Band: 250
Seite(n)/Artikel-Nr.: 118864

Einrichtungen

• Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
• Lehrstuhl für Werkstoffchemie [521110]